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高温、高精度温度计在日本开发成功
阅读次数:994  发布时间:2016/9/18 14:22:07

  以往,在半导体制造等需要对温度进行准确测定的场合,都是采用以白金(铂)

 
丝为传感器的白金电阻温度计。然而,在1000 ℃附近的高温区,白金的电阻率并不稳
 
定,而且白金丝自身也会产生热扭曲,所以很难实现高精度测量。
 
    *近,日本产业技术综合研究所的研究组与CHINO株式会社合作成功研发出能够在
 
1000℃附近高温区准确测定温度的白金电阻温度计。
  
    为了开发在1000 ℃高温区也能具有稳定电阻率的温度传感器,课题组对市场上销
 
售的白金电阻温度计进行分析研究后,对其传感器进行适当的热处理,再利用日本国
 
家标准的水三相点装置和银凝固点装置反复进行热循环试验,分析不同温度下的电阻
 
值变化情况。结果发现,经过热处理后,铂温度传感器在1000 ℃附近的电阻变化实现
 
*小化,温度计性能更加稳定。此外,通过对铂丝的结构进行调整优化,使其热扭曲
 
程度得到减轻。
  
   新开发的温度计在银凝固点的961.78℃,测量值变动范围为±0.001度(以前为
 
0.01度);在水三相点的0.01℃,测量值变动也稳定在±0.0005度以内,达到世界*
 
高水平。

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